Nikon setzt auf Messtechnik „Made in Jena“

Beim Optik- und Technologiekonzern Nikon kommt demnächst Messtechnik „Made in Jena" für die Qualitätskontrolle von optischen Materialien und Schichten zum Einsatz. Das auf laserinduzierter Teststrahlablenkung basierende Absorptionsmessverfahren wurde am Leibniz-Institut für Photonische Technologien IPHT erforscht und entwickelt. In Zusammenarbeit mit der Jenaer Firma Speck Sensorsysteme GmbH entsteht ein Messplatz bei Nikon in Japan. Der immer leistungsfähigeren Halbleiter- und Mikrosystemtechnologie liegen Strukturen im Nanometermaßstab zu Grunde. Das stellt hohe Ansprüche an die Verfahren für deren Herstellung. Die bei Nikon eingesetzte Lithographietechnik nutzt spezielle optische Linsen und Belichtungsmasken, um kleinste Strukturen in ein lichtempfindliches Substrat zu schreiben. cd